6月7日訊，在華為重磅發布HarmonyOS 2（鴻蒙操作系統）的當天，天眼查顯示，華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域了，入股了由中科院微電子所控股的北京科益虹源公司，
公開資訊顯示，北京科益虹源光電技術公司的控股股東是中科院微電子所，持股26.6%，主要業務就是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統，是大陸第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業。
光刻膠板塊最近幾日表現比較強勢，近兩周累計漲幅接近15%。
方正證券指出，光刻機作為前道工藝七大設備之首（光刻機、刻蝕機、鍍膜設備、量測設備、清洗機、離子注入機、其他設備），價值含量極大，在制造設備投資額中單項占比高達23%，技術要求極高，涉及精密光學、精密運動、高精度環境控制等多項先進技術，光刻機是人類文明的智慧結晶，被譽為半導體工業皇冠上的明珠，
方正證券認為，目前全球前道光刻機被ASML、尼康、佳能完全壟斷 ,CR3高達99%，在當前局勢下，實現光刻機的大陸替代勢在必行，具有重大戰略意義，在02專項光刻機項目中，設定于2020年12月驗收193納米ArF浸沒式DUV光刻機，其制程工藝為28納米。考慮到此項目作為十三五目標，未來具有較大的明確性，結合 28nm作為當前關鍵技術節點的性能和技術優勢，光刻機大陸替代將迎來新的曙光，
方正證券陳杭建議關注光刻產業鏈，一是光刻機核心組件：負責整體集成的上海微電子、負責光源系統的科益虹源，負責物鏡系統的國望光學，負責曝光光學系統的國科精密，負責雙工作臺的華卓精科，負責浸沒系統的啟爾機電；二是光刻配套設施：包括光刻膠，光刻氣體，光掩模版，光刻機缺陷檢測設備，涂膠顯影設備等。
方正證券梳理光刻機產業鏈如下圖：
